有機系異物|有機系異物｜導入事例│高機能！ナノスケールで測定、分析、フーリエ変換ができる【neaSNOM】

有機系異物

PMMA母材に付着した主成分をPDMSとする異物を母材の影響なく、高空間分解能で指紋領域スペクトルを取得。また、同一サンプルでPMMA/シリコン界面を横断するようにラインスペクトルマッピング（20nmステップ30点）を行った際、界面近傍ではPMMA由来のピークが１ステップで消失しており、波数固定のイメージングだけでなく、分光においても高い空間分解能が確認されている


引用先：F. Huth et al., Nano Lett. 8, 3973 (2012)