シリコン酸化膜の反射および位相スペクトルに基づき、各ピークに波長を固定してイメージング。AFM像と同レベルの高い空間分解能で像取得され、AFM像中の赤線に沿って取得されたスペクトルも、同様に数十nmレベルの分解能でスペクトルに変化が見られている
