有機系異物｜導入事例│高機能！ナノスケールで測定、分析、フーリエ変換ができる【neaSNOM】

SiC上欠陥

化合物半導体SiCにおいて、圧痕周辺にAFM像には見られない内在する欠陥を高分解能に可視化