反射強度イメージでは、電子顕微鏡像で見えていた組成の異なる領域が明瞭に可視化されており、PMMAが埋められた細管近傍をリン酸基をもとにスペクトルを取得すると、部位ごとに異なる組成を示す結果が高い分解能で得られていることが分かります。