高機能！ナノスケールで測定、分析、フーリエ変換ができる【neaSNOM】が解決
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neaSNOM と従来法との比較
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高空間分解能 （イメージング＆ 分光測定） |
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| neaSNOM | 従来FTIR | |
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一般的にこの回折限界により、従来法では空間分解値は最高でもλ/2に限られる
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| 近接場により回折限界を超える高空間分解能イメージング分光測定が可能 | ||
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従来FTIR方式との 高い相関性 |
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neaSNOMによるIm[σ]スペクトルは、ほぼ従来の吸収スペクトルに一致 |
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| 高スペクトル分解能 |
neaSNOM スペクトル 
ペンタセンのneaSNOMスペクトル 
Nano-FTIR Absorption
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| neaSNOMでは、わずか数cm-1の差も検出可能 | ||
他手法との比較
| 手法 | 散乱型近接場顕微鏡 | AFM-IR （原子間力赤外分光法） |
| 概念図 |
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| 原理 | 散乱型近接場赤外分光法 | 光熱誘起共鳴分光法 |
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集光されたレーザ(L)がAFMチップ先端(T)を照射。AFMチップ先端(T)ではチップ先端径（約10nm）と同程度のナノフォーカス(N)を生み出す。チップとサンプル間に働く近接場相互作用が弾性散乱光(S)を変調。AFMチップをサンプル表面上で走査することで分解能10nmの光学マッピングを取得。イメージングを行う場合には吸収が起こる波数に固定し、分光測定においては、 数百/cm-1を一度に照射できるブロードバンドレーザを使用する。 |
集光されたパルス光(P)がAFMチップ(C)直下のサンプルを照射。波数を振りながら、赤外吸収の大小によりサンプルがAFMチップ直下で膨張する大きさを、サンプルに触れているAFMチップの上下方向の振幅の変化を検出(D)。 | |
| 空間分解能 | 10nm | 50nm-100nm |
| 感度 | 数nm | 数十nm |
| 膜厚依存 | 小さい | 大きい |
| サンプル構造 | AFMが測定可能な表面・断面であれば何でも可能 | 得られるスペクトルには、吸収量以外に弾性など様々な物性が寄与 |
| サンプリング難易度 | 容易 | 場合によっては複雑 |
| 光源 | イメージング：波長可変レーザ 分光測定：ブロードバンドレーザ |
波長可変レーザ |
| 測定波数域 | イメージング： 850-3600/cm-1 分光測定： 660-2000/cm-1 |
900-2000, 2235-3600/cm-1 |
| 波数分解能 | イメージング： 0.1/cm-1 分光測定： 3-6/cm-1 |
6/cm-1 |
| 測定時間 | イメージング： 0.9ms 分光測定： 数分/スペクトル |
イメージング：3ms |
| 適用例 |
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